产品
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型号 | RB100ASS3-440-470-C01C01-UNN | ||
机械手臂类型 | 双叉(带上翻转） | ||
被搬运物 | ≤ 300mm | ||
晶圆吸附方式 | 托举式 | ||
机械结构格式 | 水平多关节 | ||
控制轴 | 5 | 控制器 | ECB100S-5 |
电机类型 | AC 伺服电机 | ||
可动范围 | 中心到达距离 | 旋转角度θ轴 | 升降Z轴 |
1242mm | 330° | 470mm | |
重复性精度 | ±0.1mm以内 | ||
控制通讯方式 | RS232/RS485/TCP/IP | ||
洁净度 | ISO标准Class1 | ||
厂务 | 电源 AC220V 5A | ||
重量 | ≈ 70Kg | ||
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