产品
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• 适用于 300mm 及以下尺寸晶圆传输
• 可实现末端自由轨迹和斜插功能
• 完全自主知识产权
• 模块化设计，可客制化订制
• 产品符合 SEMI S2 规范
产品参数
型号 | RB100VSD1-356-150-L01L01-UNN | ||
机械手臂类型 | 双臂四叉真空手 | ||
被搬运物 | ≤ 300mm | ||
晶圆吸附方式 | 托举式 | ||
机械结构格式 | 水平多关节 | ||
控制轴 | 4 | 控制器 | ECB100S-4 |
电机类型 | AC 直驱电机 | ||
可动范围 | 中心到达距离 | 旋转角度θ轴 | 升降Z轴 |
1327mm | 360° | 50/100/150mm | |
重复性精度 | ±0.1mm以内 | ||
控制通讯方式 | RS232/RS485/TCP/IP | ||
洁净度 | ISO标准Class1 | ||
厂务 | 电源 AC220V 5A | ||
重量 | ≈ 70Kg | ||
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