EFEM产品

产品描述

面向半导体生产制程中为各类制程设备做晶圆上下料配套的前端工艺设备。

性能参数

设备型号

AEW6000 系列

产品特点
• 与不同的工艺 / 检测设备对接，实现全自动工艺 / 检测
• 根据产能与工艺要求，选择不同 Port 数量框架，以及不同设
备之间的连接方式
• 根据晶圆尺寸，功能需求等灵活配置 LP/Robot/Fork/Aligner
型号
• 多种选配功能：如翻转、双臂高速传输、走形轴等
• 符合 SECS/GEM 标准的人机交互界面
• 可配置 E84 模块，与厂内天车系统进行交握

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