产品
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• 高速、高精度定位圆心和缺口
• 兼容透明半透明不透明晶圆
• 可定制化开发
• 产品符合 SEMI S2 规范
产品参数
型号 | AG106G |
产品结构 | 机械夹持式 |
传感器种类 | 反射光纤 |
晶圆规格 | 6" |
位置确定所需时间 | 2.5s（不实行重新夹持动作 ) |
位置精度 | 晶圆中心：±0.3mm 以内，槽口定位：±0.3°以内 |
工作范围 | ±5mm |
晶圆保持方式 | 机械边缘夹持 |
晶圆保持确认 | 限定反射型光纤传感器（2 处） |
控制通讯方式 | RS232/RS485/TCP/IP |
电源 | DC24V 2A |
负压 | - |
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