型号

RB100ASD1-200-300-V01V01-DN550

机械手臂类型

可搭载微法尔全系列大气手臂

被搬运物

≤ 300mm

晶圆吸附方式

真空吸附式、伯努利式、夹持式、复合式

机械结构格式

水平多关节

控制轴

5

控制器

ECB100S-5

电机类型

AC 伺服电机

行走轴

TOYO/THK/HIWIN等(品牌长度可指定)

可动范围

中心到达距离

旋转角度θ轴

升降Z轴

移栽 Y 轴

805mm

340°

300mm

550mm

搬运平均速度

R 轴

θ 轴

Z 轴

Y 轴

850mm/s

205°/s

330mm/s

850mm/s

搬运最大速度

R 轴

θ 轴

Z 轴

Y 轴

2200mm/s

270°/s

650mm/s

1000mm/s

重复性精度

±0.1mm 以内

控制通讯方式

RS232/RS485/TCP/IP

洁净度

ISO标准Class1(驱动结构内部独立排气条件下)

厂务

电源 AC220V 5A，真空 优于 -53Kpa

重量

≈ 70Kg