| 设备型号 • Rb100 系列 产品特点 • 超洁净间用多轴型 4 轴水平多关节型清洁机械手 Rb100 系列 • 适用于支持 300mm 的半导体制造装置内，检查装置等的晶圆搬运 • 机械手臂标准臂长：210mm，280mm • 机械手臂可以单独对应 2 个 FOUP • 控制通讯方式：串口 RS2320 或并口 I/O 方式 • 晶圆固定方式 : 真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式手指 技术规格参数 • 被搬运物：≤ 300mm 晶圆 • 晶圆吸附方式：真空吸附式 • 机械结构格式：水平多关节，控制轴：4 轴 • 电机类型：AC 伺服电机 • 可动范围：被搬送物体中心到达距离 760mm；旋转角度（0 轴）335 度； 升降（Z 轴）300mm • 重复性精度：±0.1mm 以内 • 厂务：电源 : 单相 AC200V 真空 : 优于 -53kPa( 使用真空吸附式手指 ) • 质量：机械手臂体大约 40kg |
